Jaký je nejlepší materiál, který lze použít pro opěrný prsten CMP

Jaký je nejlepší materiál, který lze použít pro opěrný prsten CMP?

Křemíkové destičky jsou křemíkové oplatky používané při výrobě křemíkových polovodičových obvodů a poté mechanický leštící proces ve výrobním procesu křemíkových oplat Křemíkonový oplatka, tím lepší je výkon tohoto křemíkového oplatky, tím silnější je ztělesnění technické síly, takže ve výrobním procesu oplatků se rychlost výnosu stala velmi důležitým podmínkou, která pro leštění povrchu oplatky také rostou, CMP také CMP Proces leštění se také stává stále sofistikovanějším, takže proces leštění pro použití konečného zralého pevného prstence CMP

Během procesu leštění oplatky musí opěrný kroužek CMP během leštění udržovat oplatku. Během procesu leštění se přidávají různé chemikálie a tyto kapaliny mohou korodovat leštěné komponenty, takže vyžaduje, aby opěrkový kruh CMP mohl odolat určitým mechanickým zatížením, dobrou flexibilitou a odolnost proti korozi a další vlastnosti.

Abych to shrnul, pro výrobu opěrných prstenů CMP potřebujeme procesory, aby měly velmi vysokou přesnost zpracování a rozměrovou stabilitu, aby se později snížila poškrábání oplatků.

Obvykle si vybereme dva speciální inženýrské plasty: PPS a nahlédnutí do zpracování a produkce opěrných prstenů CMP.

Materiál PPS je charakterizován vysokou odolností proti opotřebení, dobrá odolnost proti chemickému odolnosti a odolností proti rozpouštědlu, stejně jako dobré tření, čistý typ materiálu s vysokým sunem, ve srovnání s pevným prstencem CMP CMP, nákladů nižší a vytvořil kompletní průmyslový řetězec, s rodinou zdůrazňuje nákladový výkon.

PEEK CMP udržující kroužek má vyšší koeficient tření, ve srovnání s PPS CMP udržovacím třením prstenu je vynikající, má komplexnější a stabilnější chemickou odolnost, širší rozsah odolnosti proti vysoké teplotě, takže peek CMP udržující prsten v dlouhém- dlouhém- dlouhém- dlouhém kruhu v dlouhém Termín vysoce pevné obráběcí prostředí stabilnější, v relativní době, stejné pracovní podmínky, delší, ale náklady budou také vyšší ve srovnání s některými.