Polovodičová elektronika
Výroba integrovaných čipů obvodů vyžaduje vysoce specializované vybavení, které může pracovat ve více drsných prostředích, například:
● plazma ve vakuovém prostředí;
● Vysoká teplota;
● kontakt s vysoce abrazivní kapalinou;
● Vystavení mnoha vysoce korozivním chemikáliím.
Výhoda
● Přesná reprodukce materiálu dostupného kdekoli na světě
● Rozsáhlý výběr materiálu, inženýrská podpora a schopnosti testování
● Schopnost obrábění, podpora vývoje aplikace NPI simulačního systému
● Nejširší portfolio materiálů určených pro mokré procesní nástroje
● Světově špičkový výrobce materiálů CMP prstenců, včetně TechTron® PPS (globální standard pro aplikace CMP)
● Materiály používané v nástrojích suchého procesu, jako je Etch, CVD a implantace iontů, ke snížení nákladů a zlepšení výkonu
Běžné materiály
Acetal
Antistatické, statické disipativní a vodivé plasty
CPVC
Fep
Fluoropolymerní trubice
FR polypropylen
ECTFE
PVDF
NYLON
Nahlédnout
Pet
PFA
Polyimidová páska
PC
Polypropylen
PSU
PPS
PTFE
PEI
Epoxid
Fenolická bavlněná látka
Durostone
FR4/G10
Bakelite
Síla materiálů
Ø Statické disipační známky
Ø Chemická odolnost
Ø Nízká tvorba částic v aplikacích ložiska a opotřebení
Ø Charakteristiky s nízkým výstupem
Ø Nízká hladina extrahovatelného, když jsou umístěny do chemikálií s vysokou čistotou
Ø schopnosti vysoké teploty
Ø Dimenzionální stability
typické aplikace
Ložiska a pouzdra
Chemické nádrže
Elektrické izolátory
Flexibilní hadičky
Stráže a štíty
Leštící kroužky
Spin Chucks
Aplikace statického řízení
Zkušební zásuvky
Komponenty ventilu
Díly manipulace s oplatkou
Mokré lavičky a pracovní stanice
Produkty a aplikace
Produkt | aplikace |
Techtron®pps | CMP kroužek |
SEMITRON®CMP XL20 | Leptání a CVD reakční komora |
Ketron®1000 peek | Přenos oplatky |
Ertalyte®pet-p | Struktura mokré procesu |
Duratron®pai | Komponenty mokrého procesu, HP Chemical and Water Storage Coatner |