SEMITRON® MPR 1000 PAI

Semitron® MPR 1000 tvarů mají vynikající odolnost proti teplu a nízkou rychlost od outgassingu a eroze v plazmatických komorách. Tento materiál s vysokou čistotou s nízkým obsahem iontového obsahu je často vybírán pro aplikace vakuové komory v sub segmentacích implantátu iontu v polovodičovém a elektronickém průmyslu.

Semitron® MPR 1000 ukazuje zvýšenou životnost v tradičních materiálech, například v některých případech až 25x nad polyimidem v ozonu. Vzhledem ke své dlouhověkosti je specifikována proti tradičním materiálům používaným ve vakuových komorních aplikacích, jako je křemen, keramika, polyimidy a další inženýrské plasty.

Vlastnosti materiálu

Nízký obsah iontového obsahu a nízký výstup

Vynikající odolnost proti teplu

Minimalizovaná míra eroze v plazmových komorách

Optimální odpor čipu, trvanlivost a majitelnost

Navrženo speciálně pro náročné komorní aplikace

Aplikace: Vakuové komory na bázi plazmy, prsteny svorky, příkopové prsteny, šrouby, kolíky, sprchové hlavy, zaostřovací kroužky, izolátory, vakuové podložky

O SIMitron ®

Produkty Semitron® Semiconductor Grade byly vyvinuty, aby pomohly designérům a uživatelům optimalizovat výkon zařízení výroby zařízení. Kromě výroby zařízení je mnoho z těchto materiálů ideální pro specifická prostředí, kde je vyžadována odolnost vůči opotřebení, chemická odolnost a řízení statické elektřiny.

Byly vyvinuty dvě skupiny produktů. Jeden, vhodný pro manipulaci s zařízeními a testovací aplikace a druhá pro aplikace CMP, plazmy a leptací komory nové generace.

Šetronské známky jsou k dispozici v listu, tyčce (některé formulace) a obrobených částech.